mems惯性传感器组成

mems惯性传感器主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的前沿科技。mems惯性传感器组成？更多详情请大家跟着小编一起来看看吧！

mems惯性传感器组成(1)

mems惯性传感器主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分。它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的前沿科技。